盛美上海湿法设备3000腔交付
半导体设备 半导体技术 ,2022年11月16日,盛美上海宣布湿法设备3000腔交付,其半导体湿法设备2000腔于去年10月18日交付。 目前中国大陆能提供半导体清洗设备的企业,主要包括盛美上海、北方华创、芯源微等。作为新兴的半导体设备企业,盛美上海主要产品为集成电路领域的单片清洗设备,包括单片SAPS兆声波清洗设备、单片TEBO兆声波清洗设备、单片背面清洗设备、单片刷洗设备、槽式清洗设备和单片槽式组合清洗设备等。 盛美上海总经理王坚表示,公司成立以来,从聚焦单片兆