爱发科集团推出三款先进半导体核心设备,助力行业技术突破
2025年3月27日,Semicon China 2025上海展,爱发科集团推出三款先进半导体核心设备,助力行业技术突破2025年3月27日,Semicon China 2025上海展会上,全球领先的真空设备制造商爱发科集团正式发布三款面向先进半导体制造领域的核心设备:多腔室薄膜沉积系统ENTRON-EXX、针对12英寸晶圆的集群式先进电子制造系统uGmni-300以及离子注入系统SOPHI-200-H。新品以“灵活高效、智能协同”为核心理念,覆盖晶圆制造、化合物半导体及封装等关键领域