由北京吉兆源自行设计开发的固态射频电源，可应用于等离子体清洗、溅射镀膜、PECVD、刻蚀、医疗美容等领域。

具有：

1>高的可靠性和稳定性

2>大屏液晶显示，操作更加直观

3>高效的功率输出

4>紧凑的结构设计，体积小、重量轻

5>完善的保护功能：过压、过流、过温、反射功率保护

6>完备的附加功能：脉冲调制、主从模式等

7>标准通讯功能：RS232 RS485 标准MODBUS协议

8>集成匹配器操作功能，使匹配器操作更加灵活方便

50W 150W 500W 1000W

输出功率 0-50W 0-150W 0-500W 0-1000W

功率稳定度 ≤±0.5% ≤±0.5% ≤±0.5% ≤±0.5%

输出频率 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz

频率信号 标准正玄波 标准正玄波 标准正玄波 标准正玄波

输入电压 AC180-250V AC180-250V AC180-250V AC180-250V

输入电流 1A 3A 4A 8A

输出阻抗 50Ώ 50Ώ 50Ώ 50Ώ

承受驻波比 >3.0 >3.0 >3.0 >3.0

冷却方式 风冷 风冷 风冷 风冷

通讯口 无 RS232 RS485

标准Modebus RS232 RS485

标准Modebus RS232 RS485

标准Modebus

模拟控制接口 DB15 DB15 DB15 DB15

输出接口 N N/UHF N/UHF N/UHF

尺寸 160(宽)×300(深)×235(高) 160(宽)×300(深)×235(高) 480(宽)×350(深)×89(高) 标准2U 480(宽)×500(深)×89(高) 标准3U

重量 5Kg 8Kg 10.5Kg 15Kg

附加功能

脉冲 无 有 有 有

脉冲频率 10-10KHz 10-10KHz 10-10KHz

占空比 1%-99% 1%-99% 1%-99%

主从模式CEX 无 有 有 有

匹配器控制 有 有 有

联系方式:

北京吉兆源科技有限公司

网站: www.射频电源.com ,www.射频电源.net ,www.gmpower.cn

电话: 010-58711816

Email: my-yes@163.com