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MPS200T

探针台

MPS200T 8英寸快速探针台针对功率器件、光电器件、射频器件晶圆片测试而设计的一体化在片 测试解决方案。可提供直流IV、CV、TLP,RF的测量能力。

Sirada

硅科锐达

Sirada

技术参数

  • Chuck XY行程:

    230 ㎜*270 ㎜

  • Chuck移动精度、分辨率:

    ±1 um

  • Chuck一键式快速移动:

    支持

  • 针座数量:

    3直流+2 RF

  • 重量:

    200 kg

  • Chuck类型:

    镀镍,微孔

  • 尺寸:

    735 ㎜×545 ㎜×780 ㎜

  • 显微镜:

    单筒0.6~5.0x,1:8.3,1080p,LED点光源

  • 显微镜快速升降:

    支持

  • 显微镜三轴行程:

    150 ㎜×50 ㎜

  • 射频针座:

    千分尺,可调角度

  • 直流针座:

    千分尺

  • 整体升降:

    支持,最大30 mm

  • Chuck漏电流:

    100 fA

  • Chuckθ行程:

    粗调360°,精调±5°

  • Chuck Z行程:

    6 ㎜

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更多MPS200供应商 更新时间2026-1-21 16:05:00