ASYST推出晶圆厂自动物料处理方案Agile Automation
ASYST日前宣布推出AgileAutomation解决方案,这是一种应用在半导体晶圆厂新的自动化物料处理(AutomatedMaterialHandling)方式。AgileAutomation大幅增加了晶圆厂的生产能力,通过模块化增强现有AMHS制度。AgileAutomat,ASYST日前宣布推出AgileAutomation解决方案,这是一种应用在半导体晶圆厂新的自动化物料处理(AutomatedMaterialHandling)方式。AgileAuto