近日，南大光电发布投资者关系活动记录表，透露旗下已有两款 ArF 光刻胶进入批量验证阶段。
南大光电表示，ArF 光刻胶验证阶段主要分为 PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及 Release（通过验证）四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证，多款胶正在验证过程中。验证中的 ArF 光刻胶因开始时间不一，验证进度也不同，其中有两款胶进入 MSTR 阶段。
南大光电称，当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证，加强市场拓展，争取早日实现规模量产，形成业绩贡献。公司用于生产 ArF 光刻胶的核心原材料，由公司自主研发，对于国内具备供应能力的原材料，通过外购解决。
同时，南大光电透露，公司去年发行可转换公司债券募集资金 9 亿元，其中 8000 万元用于实施“年产140 吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目”，计划通过扩建和技改，增加磷烷年产能 70 吨、砷烷年产能 70 吨。截至目前，项目已建成 70 吨砷烷产能和 35 吨磷烷产能，后续建设正在稳步推进中
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