晶圆制造物流升级，国产AMHS厂商加紧追赶
在现代半导体晶圆制造工厂中，自动物料搬送系统（AMHS）被誉为企业高效运作的“动脉”，其贯穿全流程的重要性愈发突出。伴随国内晶圆厂建设潮的持续升温，AMHS系统应用正逐步深入，市场需求快速提升。而国内厂商也迎来了前所未有的成长机遇。
国产AMHS系统迎窗口期
当下的高端AMHS市场，日系企业仍占大头，两家公司市占率合计高达九成。不过，伴随国内半导体制造集群的崛起，国产厂商获得了大量产线验证和技术积累机会。以苏州新施诺半导体设备有限公司为代表的新兴企业，正加速缩短与国际巨头的距离。
在2025湾区半导体产业生态博览会上，新施诺现场展示了其第5代AMHS天车产品的真实运行，吸引了业内高度关注。该公司自2022年成立以来，依托资本、技术和团队的多方优势，取得显著突破。尤其是与韩国SYNUS Tech等资深厂商的深度合作，提供了成熟研发平台，使企业能够高效切入高端市场，实现自有技术创新。
AMHS在制造流程中的职责与挑战
AMHS通常由天车（OHT）、高架轨道、料库、塔库等硬件和上层调度控制软件（如MCS、TCS、VCS）构成。在生产线上，AMHS承担着晶圆从一道工序到下一工序之间的全自动搬运任务，对稳定性和智能化要求极高。
早期的6/8英寸生产线由于产能相对较低，设备与布局灵活，搬运系统多采用半自动的AGV等方案。随着12英寸晶圆厂的大规模投产，对洁净度、效率与产能的要求骤升，AMHS天车成为行业“标配”，助力产线高效无损运转。
技术突破与系统验证
新施诺目前的核心业务，聚焦于半导体与显示、动力电池等高端制造环节。目前服务的晶圆厂均要求系统可适应7×24小时无间断运行，最高规模可部署数百台OHT天车，每天搬运指令量高达70万单以上。在大规模并发场景下，系统稳定性成为“生死线”。据介绍，该公司已将单台设备平均无故障搬运次数（MCBF）提升至12万次以上，在行业内处于先进水平。
此外，高精度和低振动亦是核心指标。由于OHT天车结构复杂，硬件集成度高，传输过程中的振动幅度已经被控制至0.5g以内，定位精度也已实现±1毫米水准，完全满足高端晶圆生产线的对接需求。
新施诺认为，除硬件可靠性外，调度算法和软件架构创新同样不可或缺。其自主设计的MCS平台，不仅兼容主流MES协议，还支持跨厂商、跨平台协作，当前已实现千台级天车高效智能调度，可在线升级维护。此外，在数据库优化、运维便利性等多方面完成了升级，进一步推动系统部署效率。
持续迭代对标国际，补齐短板
虽然国产AMHS加速追赶，但与国际头部厂商相比，在设备长期可靠性、电磁干扰抑制、系统轻量化设计等方面仍有差距。新施诺已启动下一代产品的系统化升级，包括提升车体结构设计、内部布线、电路板布局等多个环节，致力于攻克产业难题。
企业方面判断，随着内需市场规模持续扩大，未来行业格局将逐渐向“寡头主导、产业协作”的方向发展。新施诺正借力本地化服务和成本优势，加速抢占核心市场，努力跻身行业主力阵营，成为推动国产AMHS高质量发展的中坚力量。
