近日，芯碁微装MAS6直写光刻设备成功销往日本市场。芯碁微装表示，公司设备成功开拓日本载板市场，体现客户对于芯碁微装产品技术和质量的高度认可，同时为芯碁微装提供了广阔的市场拓展空间。

图片来源：芯基微装

芯碁微装的MAS6直写光刻机设备是专门面向IC载板（FC-BGA基板、FC-CSP基板）领域量产L/S：10/10μm节点的客户需求进行开发。采用DMD直接成像技术，配合合理的光路设计，使得解析精度可至6/6μm；采用高精度的精密位移平台系统，配合高精度的环境温度控制，使得对位精度达到5μm。

芯碁微装成立于2015年，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产，设备产品销售客户超过300家，公司在半导体设备领域的发货量已累计超过700台。