高精度硅谐振压力传感器

XDP8100系列产品是新一代高集成谐振式MEMS绝对压力传感器，集成了一颗敏感压力的MEMS谐振器，和一颗用于MEMS驱动与检测的ASIC芯片，是全球首款采用单片集成ASIC控制芯片的硅谐振压力传感器。国际同类产品仍采用分立元器件搭建的PCB板级处理电路，相比而言，XDP8100具有精度高、体积小、数字输出、系统集成简单、无需二次校准等独特优点。 •测量介质：干燥非腐蚀性气体\r\n•压力量程：0 ~ 350 kPa 绝压（可选）\r\n•最大过压：2 x FS\r\n•工作温度：-45°C ~ +85°C\r\n•综合精度*：±0.02%FS (标准级), ±0.01%FS (提高级)\r\n•长期稳定性：±0.01%FS /年\r\n•加速度影响：< 2Pa/g\r\n•压力接口：M12\r\n•电气接口：SPI 接口\r\n•供电电压：5V\r\n•外形尺寸：φ25mmx27.5mm (不包含压力/电气接口）\r;

NUMEMS

芯动联科

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