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SFM6000D-50SLM	文件：1.45005 Mbytes Page：12 Pages	Preliminary Datasheet SFC6000D Mass Flow Controller and SFM6000D Flow Meter Disruptiveconceptcombiningplasticbodyandhighlyintegratedelectronics Smallformfactorandlowweight Highaccuracy/repeatability(2%/0.2%ofsetpoint) Widecontrolrange(500:1) Ultra-fastsettlingtime(100ms) RS485andI2Cdigitalinterface Exchangeable6	SensirionSensirion AG Switzerland 盛思锐盛思锐贸易有限公司	Sensirion
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Disruptiveconceptcombiningplasticbodyandhighlyintegratedelectronics Smallformfactorandlowweight Highaccuracy/repeatability(2%/0.2%ofsetpoint) Widecontrolrange(500:1) Ultra-fastsettlingtime(100ms) RS485andI2Cdigitalinterface Exchangeable6

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Disruptiveconceptcombiningplasticbodyandhighlyintegratedelectronics Smallformfactorandlowweight Highaccuracy/repeatability(2/0.2ofsetpoint) Widecontrolrange(500:1) Ultra-fastsettlingtime(100ms) RS485andI2Cdigitalinterface Exchangeable6mmpush-in

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