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PROE-VAP100
厂商型号

PROE-VAP100

功能描述

ProE-Vap® 100 Delivery System

文件大小

750.89 Kbytes

页面数量

2

生产厂商 Entegris, Inc
企业简称

ENTEGRIS

中文名称

Entegris, Inc官网

原厂标识
数据手册

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更新时间

2025-5-27 16:57:00

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PROE-VAP100规格书详情

APPLICATIONS

• Atomic layer deposition

• High-κ capacitors and gate

dielectrics

• Metal barriers and electrodes

• Fluorine-free tungsten (FFW)

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