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台积电持续在先进制程技术方面有显著的进展;2017年，10纳米制程技术创下有史以来最快的速度进入量产，其量产第一年营收即占年度所有晶圆销售的10%;领先业界的7纳米制程已从研发迈入制造阶段，预计于2018年第2季开始量产;7纳米加强型制程也将随后于2018年进入试产。台积电晶圆十八厂于2018年1月动土，将大规模使用极紫外光(Extreme Ultraviolet, EUV)微影技术生产5纳米制程，预计于2020年开始量产。