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AS200B数据手册ASAIR中文资料规格书

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厂商型号

AS200B

功能描述

AS200B气体质量流量控制器

制造商

ASAIR Guangzhou Aosong Electronic Co., Ltd.

中文名称

奥松 广州奥松电子股份有限公司

原厂标识
数据手册

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更新时间

2025-8-5 23:01:00

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AS200B规格书详情

应用 Application

AS200B系列气体质量流量控制器(MFC),主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。

技术参数

  • 制造商编号

    :AS200B

  • 生产厂家

    :ASAIR

  • 准确度

    :±1.0%S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(<35%F.S.)

  • 线性

    :±0.5%F.S.

  • 重复精度

    :±0.2%F.S.

  • 响应时间

    :1sec

  • 最大工作压力

    :0.45MPa

  • 工作环境温度

    :5~45℃

  • 电源

    :+15~ +24 VDC (单极)

  • 重量

    :约0.95Kg

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