AS200B中文资料AS200B气体质量流量控制器数据手册ASAIR规格书

应用 Application

AS200B系列气体质量流量控制器（MFC），主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备；其他行业设备，如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。