AS200B数据手册ASAIR中文资料规格书
AS200B规格书详情
应用 Application
AS200B系列气体质量流量控制器(MFC),主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。
技术参数
- 制造商编号
:AS200B
- 生产厂家
:ASAIR
- 准确度
:±1.0%S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(<35%F.S.)
- 线性
:±0.5%F.S.
- 重复精度
:±0.2%F.S.
- 响应时间
:1sec
- 最大工作压力
:0.45MPa
- 工作环境温度
:5~45℃
- 电源
:+15~ +24 VDC (单极)
- 重量
:约0.95Kg
供应商 | 型号 | 品牌 | 批号 | 封装 | 库存 | 备注 | 价格 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
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24+ |
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ANISEM |
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MSOP |
3000 |
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